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1. ??: ±10um, ??? ??: ±5um, ?? ???: ±50um;
2. ???? ??? ?? ?????? 50% ??? 8,12 inch Foup, Cassete? ?? ??;
3. ??? ??? ?? ??, ??? ??? ?? ??, ??? ???? ???? ?? ??? ??? ?? ≤ 12mm;
4. ???: ??? ???, ??? ??, ??? ??;