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オンラインチューブPECVDローダー＆アンローダー
製品説明：
オンラインチューブPECVDローダー＆アンローダーは、シリコンウエーハをシリコンウエーハ搬送カセットからPECVDグラファイトボートに、またはPECVDグラファイトボートからシリコンウエーハ搬送カセットに自動(dòng)的にローディングする裝置。
製品メリット：
1. 速度：6,000枚/時(shí)間。
2. 非常に低い破損率：≤0.03％。
3. サーフェスアレイおよびラインスキャンAOIカメラと互換性のあるリザーブPLステーション。
4. ウェハの斷片化率を低減するためのソフトタッチ設(shè)計(jì)コンセプト。
自動(dòng)ローディング、低破損率、高生産能力