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ウェーハキャリアボックスからエッチング?洗浄裝置へウェーハを自動搬送する裝置です。本裝置は、お客様の様々なニーズに応じてカスタマイズが可能で、お客様の主要裝置との完璧な接続を?qū)g現(xiàn)する。

1. 速度： 5500&11000 枚/時間; 裝置は顧客の必要性に従ってカスタマイズすることができる。
2. 非常に低い破損：≤0.2パーセント。
3. 様々な組み合わせ：単獨でエッチングマシンと一致させることができ、また、他のプロセス裝置と一緒に使用することができる。