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オンライン拡散/アニール自動(dòng)ローディング/アンローディングマシンは、拡散前のシリコンウェーハをセルカセットから石英ボートに自動(dòng)で載せ、拡散爐に自動(dòng)で送り、ウェーハが拡散した後、拡散したウェーハを石英ボートからセルカセットに自動(dòng)で載せる裝置。

1. 速度：12,000枚/時(shí)間。
2. 非常に低い破損率： ≤0.02％。
3. 吸引カップの印および歯の印のような広範(fàn)囲の欠陥： ≤0.02%。
4. 角型、菱形ボートと互換性がある。
5.2.38～3.15mmの異なるピッチ仕様の石英ボートに対応する。