製品メリット:
1. M6-M10-G12サイズのウェハーに対応。
2.工程タンク大流量循環(huán)、マルチチャンネルバブリング調(diào)整可能。
3.小體積の內(nèi)外槽とオンライン加熱方式を採用し、溫度、薬液の均一性を確保する。
4.テクスチャー加工された後、ピラミッド狀のテクスチャーが均一、腐食量の深さと反射率を調(diào)整することができる。
5.それは速い液體の変更およびオンライン液體の変更を?qū)g現(xiàn)できる。
6.生産能力:≥9600枚/時(shí)間、400pcs/スロット;≥12000枚/時(shí)間、600pcs/スロット。